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電子束區域熔煉爐(提純制備單晶)圓滿完成

發布時間:2022年10月25日 20:55:44

      磐一(西安)裝備技術有限公司專業設計的電子束區域熔煉設備由爐體部分、夾料部分、真空系統部分、電子槍部分、高壓電源部分、自動控制系統、水冷系統等組成。要求整體結構緊湊,布局合理,維修維護方便。

      (1)爐體部分:爐體為立式結構,包括304L不銹鋼爐體、不銹鋼爐門、碳鋼架體等配件。

      (2)溫度控制系統:加熱部分、測溫控溫儀表等。

      (3)電子槍:電子槍有三塊聚束極和一塊紫銅底板以及燈絲和相關高壓絕緣件組成。

      (4)真空與氣氛控制系統:真空泵、真空測量裝置、管道、閥門、接口等。管道、閥門一律采用不銹鋼或更優質材質。

      (5)電子槍移動系統:電子槍移動系統應帶有水冷系統,由不銹鋼制造,伺服電動缸進行傳動。

      (6)集成控制系統:可將爐體、真空系統、溫控系統等相關儀表的控制集成到控制臺)。

      (7)冷卻水循環系統:工藝冷卻水循環管道、閥門均采用不銹鋼或更優材質,以確保水質穩定。

      (8)安全連鎖裝置與預警系統:冷卻水和氣氛控制中超壓和冷卻能力不足時,有安全連鎖和必要預警。

    電子束區域熔煉是一個復雜的物化提純過程,材料中的雜質由于在固態和液態中的分配系數不同,經過區熔生長被驅趕到料棒的末端而起到提純作用。對于金屬雜質來說,其去除不僅依靠區熔提純,依靠高溫下的直接蒸發。氣體和其它依靠高真空下的脫氣和化學反應去除。

    此項目的圓滿完成,標志著此項技術真正實現了“中國造”;


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